半導体に成膜・加工・洗浄を施す
多様な製品に対応する技術力が強み
サムコは、窒化ガリウムや炭化ケイ素など「化合物半導体」の製造装置の草分け的存在だ。化合物半導体はシリコンとくらべ加工が難しいが、高速で動作する、高い耐熱性、低消費電力、発光するなどさまざまな優れた特性を持っている。その特性を活かし、スマートフォンに搭載される高周波回路や顔認証に用いられる面発光レーザー、次世代のディスプレイとして注目されるマイクロＬＥＤ、通信機器や車載用として需要が高まるパワー半導体に使われるなど、化合物半導体の活躍の場が広がっている。
同社は「ＣＶＤ装置」「エッチング装置」「洗浄装置」の３種類の製造装置を製造・販売する。年間生産台数は１５０〜１６０台。装置の平均価格は１台当たり３千〜４千万円だが、中には１億円を超えるものもある。
ＣＶＤ装置は、半導体表面に10〜千ナノメートル（１ナノメートルは百万分の１ミリ）ほどの薄い膜を形成するもの。半導体を水やほこりから守ったり、半導体回路に不可欠な電気を通さない絶縁膜を作ったりすることができる。化合物半導体の需要増により、２０年７月期の売上高は１２４．３％増（前期比）と急拡大している。
売上の約６割を占めるエッチング装置は、半導体ウエハ上に施された薄い膜に微細な溝を彫るもの。同社は薬液を使用するウェットエッチングではなく、プラズマ加工による「ドライエッチング」用の装置を製造している。プラズマ加工とは、宇宙空間のような真空下で気体を励起状態にした（プラズマ化した）ものを用い、材料を微細加工する技術。半導体の小型化と高集積化が進むとともにドライエッチングの需要も拡大しており、２０年７月期のエッチング装置売上高は２０．３％増（前期比）と伸びている。
洗浄装置は、プラズマ処理によって半導体ウエハ上の微細なゴミや汚れを取り去るもの。売上高比率では約１割と低いが、後述するヘルスケア分野にも技術の新しい展開が可能である。
「化合物半導体にはさまざまな元素の組み合わせがある。製品が多岐にわたる上、それぞれに専門性の高い技術者が必要。当社には社員約１８０名中に開発技術者が６０名以上おり、顧客のニーズを汲み取って開発を行っている。技術偏重と言われるかもしれないが、それが当社の大きな強みです」（川邊史社長兼ＣＯＯ）
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